投资者身份：审核外国投资者的主体资格证明文件，如营业执照、注册证书、身份证明等，不同国家或地区的投资者，其证明文件需经过相应的公证、认证或转递程序.

企业性质与经营范围：明确外国投资者的企业性质，判断其投资能力和资格，关注其经营范围与拟投资项目的相关性或是否符合战略发展方向.

中方合作方：若有中方合作方，需审核其中方企业的主体资格，包括营业执照、经营范围、经营状况等，确保其具备合作能力和条件，且合作模式合法.

项目合规性：审查投资项目是否符合国家和地方的法律法规、产业政策以及外商投资准入负面清单的规定，对于限制类项目要审核是否满足准入条件，禁止类项目则不予备案.

项目真实性与可行性：确认项目真实性，要求提供可行性研究报告，审核市场前景、技术可行性、财务预算合理性及经济效益可实现性等.

投资规模与资金来源：审核投资规模是否合理，与企业需求和规划相匹配，明确资金来源并要求提供证明文件，确保合法合规，避免潜在风险.

材料完整性：确保申报材料齐全，符合备案要求，如《外商投资企业设立备案申报表》等各类文件均需提交.

材料准确性：检查申报材料信息真实、准确、一致，项目基本信息与实际相符，数据、图表等准确无误，不同材料间信息相互印证.

材料规范性：审核申报材料的格式和内容符合规范，申请表按指定格式填写，报告类材料结构排版规范，复印件清晰可辨，语言表达准确简洁.

关联交易：若涉及关联交易，重点审核其真实性、合理性和公允性，审查定价政策是否符合市场原则，是否存在利益输送等不当行为.

安全与环保：考虑投资项目对国家安全和环境保护的影响，对涉及关键领域等可能影响国家安全的项目进行严格安全审查，审核项目环保措施是否符合标准及是否进行环境影响评价.